一、半导体设备的基本原理和工作方式半导体设备工作原理基于能带理论，即在半导体中存在价带和导带，其中价带是半导体材料中的原子，而导带中的原子在半导体中被加热或激发后被激发到价带之外。当外部电荷作用于半导体中时，它可以改变电子在能带中的分布，导致电导率的变化。···